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yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢

發(fā)布時間:2023-02-13 點(diǎn)擊量:661

yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢

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半導(dǎo)體制造設(shè)備
光刻膠、顯影劑、沖洗液、蝕刻劑、去除劑、清洗液、抗蝕劑去除劑


產(chǎn)品概覽

 有效去除半導(dǎo)體制造過程中使用的化學(xué)品和溶劑中的氣泡和溶解氣體。
去除光刻膠、顯影劑、沖洗液、蝕刻劑、去除劑、清洗液、抗蝕劑剝離液等化學(xué)溶液中的氣泡和溶解氣體。
通過去除它,可以預(yù)期產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和成品率提高等效果。
 有效去除氣泡和溶解氣體,這對于控制化學(xué)品和溶劑的濃度和體積是*,可以實(shí)現(xiàn)精確的化學(xué)品控制。
它環(huán)保且成本低。

?消除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的問題氣泡,穩(wěn)定質(zhì)量,提高成品率,防止故障。
? 有效去除阻礙化學(xué)品和溶劑濃度和體積控制的氣泡和溶解氣體。

低價格——氟脫氣模塊(化學(xué)品/溶劑用)是高性能低價格的脫氣模塊。
與傳統(tǒng)氟基(PTFE)脫氣模塊相比,產(chǎn)品性能提升,價格降低40%。
該產(chǎn)品價格低廉,非常適合正在考慮脫氣設(shè)備的客戶。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 與傳統(tǒng)的PTFE(氟基)脫氣模塊相比,產(chǎn)品性能得到提升,價格大幅降低。
PTFE(氟系)等助劑無溶出,不易附著污垢的PFA全部用于接液部,適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
您可以放心使用。
脫氣效率高,對流量的依賴性小,因此即使增加流量,脫氣能力也不會明顯下降。

 氟樹脂膜概要

耐化學(xué)性:耐大多數(shù)化學(xué)品和溶劑,氟基化學(xué)品和溶劑除外。
耐沾污:污漬不易附著,即使附著也可輕松去除。
非洗脫:不洗脫金屬離子等雜質(zhì)。通常,氟基樹脂膜(PTFE)在加工過程中會添加助劑。
產(chǎn)品有助劑浸出,但含氟脫氣模塊不使用助劑,干凈。

產(chǎn)品陣容



型號
最大流量(80%以上的脫氣效率)
最大流量(脫氣效率50%以上)
內(nèi)部能力
尺寸
MF100
20毫升/分鐘。
-
40毫升
Φ120×120(毫米)
MF300
50毫升/分鐘。
-
110毫升
Φ120×160(毫米)
MF500
80毫升/分鐘。
300毫升/分鐘。
150毫升
Φ120×160(毫米)
MF1000
150毫升/分鐘。
500毫升/分鐘。
300毫升
Φ120×240(毫米)
MF1000-2
300毫升/分鐘。
1000毫升/分鐘。
600毫升
W250×H330×D115(毫米)


除氧器(備忘)我 莫 通過并聯(lián) MF1000-2,可以處理 1000ml/min 以上的流量。
最大流量 通大氣飽和水溶解氧去除率80%以上時,最大流量50%以上,水溫25℃,真空度12kPa(約90torr)
內(nèi)部能力 內(nèi)部體積包括脫氣模塊內(nèi)的氣體分離膜、管道和接頭
薩 胃 Z 外形尺寸(不包括突出部分)

評價

使用該脫氣模塊時,需要滿足以下條件之一。
?真空泵或真空管線
?帶真空控制功能的真空泵


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